Poster De Conférence Année : 2024

VCSEL Oxidation Monitoring Using Spectrally-Shaped Illumination

Antoine Rouxel
Antoine Monmayrant
Stéphane Calvez
Guilhem Almuneau

Résumé

Precise monitoring is essential in VCSEL fabrication, particularly during lateral oxidation, which directly impacts the device's optical and electrical properties. Our approach uses spectrally-shaped illumination to enhance the detection of oxidized areas, paving the way for advanced features like anomaly detection.

Un contrôle précis est essentiel dans la fabrication des VCSEL, en particulier pendant l'étape d'oxydation latérale, qui a un impact direct sur les propriétés optiques et électriques du dispositif. Notre approche utilise une illumination mise en forme spectralleent pour améliorer la détection des zones oxydées, ouvrant ainsi la voie à des fonctions avancées telles que la détection d'anomalies.
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Dates et versions

hal-04841824 , version 1 (16-12-2024)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04841824 , version 1

Citer

Antoine Rouxel, Antoine Monmayrant, Stéphane Calvez, Guilhem Almuneau. VCSEL Oxidation Monitoring Using Spectrally-Shaped Illumination. VCSEL Days 2024, Nov 2024, Toulouse, France. ⟨hal-04841824⟩
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