Rapport (Rapport Technique) Année : 2018

Notice d'utilisation du profilomètre TENCOR P17

Résumé

This instruction explain how to use in practice the mechanical profilometer (Tencor): - How to measure a step from nanometer scale to 300 microns. - How to done a sequence of measure to cartography a wafer - How to measure a differential stress

Cette notice explique de façon pratique comment réaliser des mesures avec le profilomètre mécanique (TENCOR). Il sera abordé la façon : - de faire des mesures de marche pour des épaisseurs allant de 10nm à 300μm. - de mesurer le stress différentiel venant de l’analyse du changement de courbure d’un wafer par l’ajout d’une couche de matériau. - d’utiliser une séquence de mesures pour obtenir une cartographie d’un échantillon de manière répétable et automatisé.

Fichier principal
Vignette du fichier
Notice profilomètre.pdf (1.53 Mo) Télécharger le fichier
Origine Fichiers produits par l'(les) auteur(s)
Licence
Loading...

Dates et versions

hal-01791451 , version 1 (14-05-2018)

Licence

Identifiants

  • HAL Id : hal-01791451 , version 1

Citer

Benjamin Reig, Séverine Vivies. Notice d'utilisation du profilomètre TENCOR P17 . 2018. ⟨hal-01791451⟩
194 Consultations
518 Téléchargements

Partager

  • More