Notice d'utilisation du profilomètre TENCOR P17
Résumé
This instruction explain how to use in practice the mechanical profilometer (Tencor): - How to measure a step from nanometer scale to 300 microns. - How to done a sequence of measure to cartography a wafer - How to measure a differential stress
Cette notice explique de façon pratique comment réaliser des mesures avec le profilomètre mécanique (TENCOR). Il sera abordé la façon : - de faire des mesures de marche pour des épaisseurs allant de 10nm à 300μm. - de mesurer le stress différentiel venant de l’analyse du changement de courbure d’un wafer par l’ajout d’une couche de matériau. - d’utiliser une séquence de mesures pour obtenir une cartographie d’un échantillon de manière répétable et automatisé.
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