Selective oxidation of AlGaAs for confinement in III-V photonic devices - LAAS - Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes
Communication Dans Un Congrès Année : 2018

Selective oxidation of AlGaAs for confinement in III-V photonic devices

Guilhem Almuneau
Équipe Photonique
Stéphane Calvez
Équipe Photonique
Gael Lafleur
  • Fonction : Auteur
Équipe Photonique
Chantal Fontaine
Équipe Photonique
Alexandre Arnoult
Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
Antoine Monmayrant
Équipe Photonique
Henri Camon
Équipe Photonique
Olivier Gauthier-Lafaye
Équipe Photonique
CV

Domaines

Optique / photonique
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Soumis le : mardi 7 août 2018-16:12:39

Dernière modification le : lundi 20 novembre 2023-11:44:22

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Dates et versions

hal-01855298 , version 1 (07-08-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01855298 , version 1

Citer

Guilhem Almuneau, Stéphane Calvez, Gael Lafleur, Chantal Fontaine, Alexandre Arnoult, et al.. Selective oxidation of AlGaAs for confinement in III-V photonic devices. 16th NAMIS workshop ” Micro- and nanosystems, large area electronics and biofunctionalities towards novel integrated smart systems“, Jun 2018, Oulu, Finland. 36p. ⟨hal-01855298⟩

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