%0 Conference Paper %F Oral %T Deposition of self-assembled monolayers in supercritical CO2 %+ Équipe MICrosystèmes d'Analyse (LAAS-MICA) %A Rabbia, L. %A Perrut, V. %A Pons, P. %A Menini, Philippe %A Clavier, J.Y. %< avec comité de lecture %B Journée nationale sur les technologies émergentes en Micro-nanofabrication %C Evian, France %8 2013-05-21 %D 2013 %K Supercritical CO2 %K PANI %K gas sensors %Z Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/MicroelectronicsConference papers %G English %L hal-02172203 %U https://laas.hal.science/hal-02172203 %~ UNIV-TLSE2 %~ UNIV-TLSE3 %~ CNRS %~ INSA-TOULOUSE %~ LAAS %~ UT1-CAPITOLE %~ LAAS-MICA %~ LAAS-MICRO-NANO-BIO-TECHNOLOGIES %~ INSA-GROUPE %~ TOULOUSE-INP %~ UNIV-UT3 %~ UT3-INP %~ UT3-TOULOUSEINP