130-MHz Optomechanical Vibrating Sensor: Towards High Bandwidth / Ultrasensitive Measurements - LAAS - Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes
Communication Dans Un Congrès Année : 2019

130-MHz Optomechanical Vibrating Sensor: Towards High Bandwidth / Ultrasensitive Measurements

Lucien Schwab
  • Fonction : Auteur
Équipe Microsystèmes électromécaniques
Pierre-Etienne Allain
  • Fonction : Auteur
Laboratoire Matériaux et Phénomènes Quantiques
Louise Banniard
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
Nicolas Mauran
Service Instrumentation Conception Caractérisation
CV
Denis Lagrange
  • Fonction : Auteur
Service Instrumentation Conception Caractérisation
Alexandre Fafin
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
Marc Gély
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
Maxime Hermouet
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
Guillaume Jourdan
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
Sebastien Hentz
  • Fonction : Auteur
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
Ivan Favero
Laboratoire Matériaux et Phénomènes Quantiques
Bernard Legrand
Équipe Microsystèmes électromécaniques
CV

Résumé

We show all-optical operation of a VLSI optomechanical micro-resonator designed for high resolution sensing applications. Mechanical resonance frequency is above 100 MHz with Q-factor of 1 000 in air, yielding measurement bandwidth above 100 kHz. We demonstrate low thermomechanical noise floor resolved with exquisite motion detection limit down to 4.10 -16 m.Hz -0.5 . This performance, enabled by optomechanical transduction, paves the way for very high-speed and ultra-sensitive sensing applications.

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique
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Origine Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

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Soumis le : mercredi 1 décembre 2021-16:05:47

Dernière modification le : mardi 3 septembre 2024-11:16:05

Archivage à long terme le : mercredi 2 mars 2022-19:51:23

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Dates et versions

hal-02371188 , version 1 (01-12-2021)

Identifiants

Citer

Lucien Schwab, Pierre-Etienne Allain, Louise Banniard, Nicolas Mauran, Denis Lagrange, et al.. 130-MHz Optomechanical Vibrating Sensor: Towards High Bandwidth / Ultrasensitive Measurements. IEEE 32nd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2019), Jan 2019, Seoul, South Korea. pp.819-822, ⟨10.1109/MEMSYS.2019.8870718⟩. ⟨hal-02371188⟩

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