Design and fabrication of a compact gas sensor integrating a polymer microresonator and a 850nm VCSEL source - LAAS - Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes
Communication Dans Un Congrès Année : 2020

Design and fabrication of a compact gas sensor integrating a polymer microresonator and a 850nm VCSEL source

Qingyue Li
  • Fonction : Auteur
Vincent Raimbault
Équipe MICrosystèmes d'Analyse
CV
Philippe Menini
Équipe MICrosystèmes d'Analyse
CV
Thierry Camps
  • Fonction : Auteur
Équipe MICrosystèmes d'Analyse
Véronique Bardinal
Équipe MICrosystèmes d'Analyse

Résumé

A compact gas sensor integrating a polymer microresonator and a 850nm VCSEL source is designed for health and environmental applications. The overall system is optimized using simulation tools by considering cleanroom fabrication tolerances. First fabrication results on 3D printed lens for VCSEL collimation and 800nm period aluminum grating couplers are highlighted.

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique
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Origine Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

Philippe Menini  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://laas.hal.science/hal-02988370

Soumis le : mercredi 4 novembre 2020-17:01:30

Dernière modification le : samedi 16 décembre 2023-12:33:38

Archivage à long terme le : vendredi 5 février 2021-19:00:16

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Dates et versions

hal-02988370 , version 1 (04-11-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02988370 , version 1

Citer

Qingyue Li, Vincent Raimbault, Philippe Menini, Thierry Camps, Véronique Bardinal. Design and fabrication of a compact gas sensor integrating a polymer microresonator and a 850nm VCSEL source. 22nd Photonics North Conference, May 2020, Vancouver, Canada. ⟨hal-02988370⟩

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