Chapitre D'ouvrage
Année : 2021
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https://laas.hal.science/hal-03341171
Soumis le : vendredi 10 septembre 2021-15:19:47
Dernière modification le : mercredi 22 octobre 2025-18:04:08
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-03341171 , version 1
Citer
Ray Duffy, Enrico Napolitani, Fuccio Cristiano. Materials science issues related to the fabrication of highly doped junctions by laser annealing of Group IV semiconductors. Laser Annealing Processes in Semiconductor Technology. Theory, Modeling and Applications in Nanoelectronics, Chapter 5, Elsevier, pp.175-250, 2021, 9780128202555. ⟨hal-03341171⟩
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