Communication Dans Un Congrès Année : 2021

Kinetic Monte Carlo for Process Simulation: First Principles Calibrated Parameters for BO 2

Nicolas Salles
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Nicolas Guitard
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Thomas Cabout
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Sylvain Joblot
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Denis Rideau
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Résumé

The formation energies and diffusion paths of Oi, O2i and BO2 complex in silicon are determined using ab initio calculations and used to calibrate a Kinetic Monte Carlo. The aim is to simulate the formation of the BO2 complex in Technology Computer Aided Design tools.

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hal-03366600 , version 1 (05-10-2021)

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Citer

Pierre-Louis Julliard, Antoine Jay, Miha Gunde, Nicolas Salles, Frederic Monsieur, et al.. Kinetic Monte Carlo for Process Simulation: First Principles Calibrated Parameters for BO 2. International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices (SISPAD), Sep 2021, Dallas, United States. pp.219-223, ⟨10.1109/SISPAD54002.2021.9592580⟩. ⟨hal-03366600⟩
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