Procédés de photolithographie développés au sein de la plateforme de micro et nanotechnologie du LAAS-CNRS - LAAS - Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes
Rapport (Rapport Technique) Année : 2023

Photolithography processes developped in micro and nanotechnologies platform of LAAS-CNRS

Procédés de photolithographie développés au sein de la plateforme de micro et nanotechnologie du LAAS-CNRS

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique
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https://laas.hal.science/hal-04132932

Soumis le : lundi 19 juin 2023-14:23:27

Dernière modification le : samedi 14 décembre 2024-03:19:27

Archivage à long terme le : mercredi 20 septembre 2023-18:38:35

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Dates et versions

hal-04132932 , version 1 (19-06-2023)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04132932 , version 1

Citer

Adrian Laborde, Laurent Mazenq, David Bourrier, Véronique Conédéra, Rémi Courson. Procédés de photolithographie développés au sein de la plateforme de micro et nanotechnologie du LAAS-CNRS. 2023. ⟨hal-04132932⟩

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