Comparaison de procédés de lithographie, une initiative du groupe Euronanolab Lithographies - LAAS - Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes
Communication Dans Un Congrès Année : 2024

Comparison of lithography processes, an initiative of the Euronanolab Lithography group

Comparaison de procédés de lithographie, une initiative du groupe Euronanolab Lithographies

Résumé

The document presents the approach taken by the lithography expert group of the EUROnanoLAB network, which has 91 members in 14 countries and 40 academic laboratories. The aim of this initiative is to encourage technical and scientific exchanges on the various lithography techniques. We begin with a presentation of the EUROnanoLAB Lithography group and its various activities, such as the organisation of videoconferences and face-to-face meetings, staff exchanges and the establishment of databases on equipment and processes. Next, we detail the initiative centred on the comparison of lithography processes. Each participating laboratory tests a lithography process using a predefined design imposed on all. Two types of resin are tested: a 1 µm thick resist (+/-20%) and a 50 µm thick resist (+/-20%). Participants must achieve the best results based on criteria such as resolution, verticality of resin profiles, aspect ratio, exposure time and ease of processing. Laboratories have a choice of resins, polarity and techniques (contact lithography, stepper, electronic, laser, etc.), as well as equipment. The aim of this presentation is to provide participants with an in-depth understanding of the different lithography techniques, to help them choose the methods best suited to their specific projects. By sharing the knowledge and experience of the members of the EUROnanoLAB group, this initiative hopes to foster increased collaboration and continued innovation in the field of lithography.
Le document présente une démarche du groupe d'experts lithographie du réseau EUROnanoLAB, qui compte 91 membres répartis dans 14 pays et 40 laboratoires académiques. Cette initiative vise à encourager les échanges techniques et scientifiques autour des différentes techniques de lithographie. Nous débutons par une présentation du groupe EUROnanoLAB Lithographies et de ses diverses actions, telles que l'organisation de rencontres en visioconférences ou en présentiel, les échanges de personnels, et l'établissement de bases de données sur les équipements et procédés. Ensuite, nous détaillons l'initiative centrée sur la comparaison des procédés de lithographie. Chaque laboratoire participant teste un procédé de lithographie en utilisant un design prédéfini et imposé à tous. Deux types de résines sont testés : une résine de 1 µm d'épaisseur (+/-20%) et une résine de 50 µm d'épaisseur (+/-20%). Les participants doivent obtenir les meilleurs résultats en fonction de critères tels que la résolution, la verticalité des profils de résine, le rapport de forme, le temps d'exposition et la facilité de mise en œuvre. Les laboratoires ont le choix des résines, de la polarité et des techniques utilisées (lithographie par contact, stepper, électronique, laser, etc.), ainsi que des équipements. Cette présentation a pour objectif d'offrir aux participants une compréhension approfondie des différentes techniques de lithographie, afin de les aider à choisir les méthodes les plus adaptées à leurs projets spécifiques. En partageant les connaissances et les expériences des membres du groupe EUROnanoLAB, cette initiative espère favoriser une collaboration accrue et une innovation continue dans le domaine de la lithographie.
2024-06-04-Renatech lithogravure.pdf (1.5 Mo) Télécharger le fichier
Origine Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

Dates et versions

hal-04611256 , version 1 (13-06-2024)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04611256 , version 1

Citer

Laurent Mazenq, Edmond Cambril, Adrian Laborde, Jean-René Coudevylle, Pierre-François Calmon, et al.. Comparaison de procédés de lithographie, une initiative du groupe Euronanolab Lithographies. JOURNÉES RENATECH LITHO/GRAVURE 2024, Jun 2024, Valbonne (06560), France. ⟨hal-04611256⟩
40 Consultations
2 Téléchargements

Partager

More