MONOLITHIC INTEGRATION OF THICK NDFEB MICRO-MAGNETS INTO MEMS: APPLICATION TO ELECTROMAGNETIC ENERGY HARVESTING - LAAS - Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2023

MONOLITHIC INTEGRATION OF THICK NDFEB MICRO-MAGNETS INTO MEMS: APPLICATION TO ELECTROMAGNETIC ENERGY HARVESTING

Thibaut Devillers
Liviu Nicu
Thomas Blon
Nora Dempsey
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Origine Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

Dates et versions

hal-04660346 , version 1 (23-07-2024)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04660346 , version 1

Citer

José Elías Angulo-Cervera, Frederico Orlandini Keller, Ilona Lecerf, Pierre Moritz, Fabrice Mathieu, et al.. MONOLITHIC INTEGRATION OF THICK NDFEB MICRO-MAGNETS INTO MEMS: APPLICATION TO ELECTROMAGNETIC ENERGY HARVESTING. 2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers), Jun 2023, Kyoto, Japan. ⟨hal-04660346⟩
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