Computational inspection of VCSEL oxidation exploiting a spectrally-shaped illuminator - LAAS - Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes
Communication Dans Un Congrès Année : 2024

Computational inspection of VCSEL oxidation exploiting a spectrally-shaped illuminator

A. Rouxel
Équipe Photonique
Antoine Monmayrant
Équipe Photonique
S. Calvez
Équipe Photonique
G. Almuneau
Équipe Photonique

Résumé

We introduce a co-design approach for VCSEL fabrication monitoring using sinusoidal illumination, well-suited for multi-layer inspection tasks. This methodology not only broadens the range of monitoring tasks but also aims to enhance precision in optoelectronic manufacturing.

Mots clés

VCSEL In situ monitoring

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics]
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Antoine Monmayrant  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://laas.hal.science/hal-04700865

Soumis le : mercredi 18 septembre 2024-09:09:20

Dernière modification le : vendredi 8 novembre 2024-15:22:45

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Dates et versions

hal-04700865 , version 1 (18-09-2024)

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Citer

A. Rouxel, Antoine Monmayrant, S. Calvez, G. Almuneau. Computational inspection of VCSEL oxidation exploiting a spectrally-shaped illuminator. Imaging Systems and Applications, Jul 2024, Toulouse, France. pp.IM1G.5, ⟨10.1364/ISA.2024.IM1G.5⟩. ⟨hal-04700865⟩

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