Nano-impression par moule souple pour les méta-surfaces actives - LAAS - Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes
Poster Communications Year : 2024

Nano-impression par moule souple pour les méta-surfaces actives

Léopold Boudier
Tanneguy Blandin
  • Function : Author
  • PersonId : 1418895
Henri Camon
Olivier Gauthier-Lafaye

Abstract

Nous présentons les résultats de mesure des déformations grand champ intervenant lors de lithographies par nano-impression via un moule souple intermédiaire, en vue d'appliquer cette technique grande surface et bas cout à la réalisation de métasurfaces actives demandant l'utilisation de procédés technologiques multi-niveaux.

Fichier principal
Vignette du fichier
poster_optique_Rouen_2024.pdf (4.13 Mo) Télécharger le fichier
Origin Files produced by the author(s)

Dates and versions

hal-04709148 , version 1 (08-10-2024)

Identifiers

  • HAL Id : hal-04709148 , version 1

Cite

Léopold Boudier, Tanneguy Blandin, Jean Baptiste Doucet, Franck Carcenac, Henri Camon, et al.. Nano-impression par moule souple pour les méta-surfaces actives. OPTIQUE Normandie 2024, Jul 2024, Rouen, France. 2024. ⟨hal-04709148⟩
10 View
19 Download

Share

More