Process for integrating multiple porous silicon membranes with variable characteristics into planar microfluidics - LAAS - Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes
Article Dans Une Revue Sensors and Actuators A: Physical Année : 2024

Process for integrating multiple porous silicon membranes with variable characteristics into planar microfluidics

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Sciences de l'ingénieur [physics]

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Soumis le : lundi 11 novembre 2024-18:31:37

Dernière modification le : mercredi 13 novembre 2024-03:10:47

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Douglas Silva de Vasconcellos, David Bourrier, Eric Imbernon, Kata Hajdu, Yingning He, et al.. Process for integrating multiple porous silicon membranes with variable characteristics into planar microfluidics. Sensors and Actuators A: Physical , 2024, 377, pp.115715. ⟨10.1016/j.sna.2024.115715⟩. ⟨hal-04776651⟩

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