Intégration de nanoparticules magnétiques douces sur inductances planaires pour applications RF
Résumé
Cette étude montre une approche ascendante pour l'intégration de matériaux diélectriques magnétiques sur inductances. Des nanoparticules magnétiques sont synthétisées par voie chimique en solution puis assemblées en micro-aimant submillimétrique par magnétophorèse directement sur les inductances. Les propriétés résultantes en permittivité et perméabilité ont été mesurées jusqu'à 20 GHz. Une augmentation significative de la valeur d'inductance est observée, particulièrement après protection des particules contre l'oxydation grâce à un dépôt de résine époxy sur les micro-aimants. Les mesures RF montrent alors une augmentation de 50-60 % jusqu'à 3 GHz sans détérioration du facteur de qualité jusqu'à environ 1 GHz pour des valeurs d'inductances entre 2 nH et 4 nH.
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