Poster Année : 2018

Contrôle des fronts d'oxydation d'AlGaAs pour l'optique guidée

Résumé

Ce poster documente la quantification expérimentale de l'anisotropie d'oxydation d'AlGaAs et un modèle qui permet de reproduire le fait que la forme de l'ouverture d'oxyde diffère de l'homothétie du contour du mesa gravé et qui permet aussi d'élaborer des règles pour dessiner les mesas à graver pour obtenir une forme d'ouverture d'oxyde spécifique.

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hal-01855938 , version 1 (08-08-2018)

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Identifiants

  • HAL Id : hal-01855938 , version 1

Citer

Stéphane Calvez, Gael Lafleur, Oleksandr Stepanenko, Alexandre Arnoult, Pierre-François Calmon, et al.. Contrôle des fronts d'oxydation d'AlGaAs pour l'optique guidée. Optique Toulouse 2018, Jul 2018, Toulouse, France. poster P146, 2018. ⟨hal-01855938⟩
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