Contrôle des fronts d'oxydation d'AlGaAs pour l'optique guidée
Résumé
Ce poster documente la quantification expérimentale de l'anisotropie d'oxydation d'AlGaAs et un modèle qui permet de reproduire le fait que la forme de l'ouverture d'oxyde diffère de l'homothétie du contour du mesa gravé et qui permet aussi d'élaborer des règles pour dessiner les mesas à graver pour obtenir une forme d'ouverture d'oxyde spécifique.
| Origine | Fichiers produits par l'(les) auteur(s) |
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