Source structurée spectralement pour le suivi de procédés de microfabrication - LAAS - Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes Access content directly
Conference Papers Year : 2021

Source structurée spectralement pour le suivi de procédés de microfabrication

Elizabeth Hemsley
  • Function : Author
  • PersonId : 1130436
Natan Monvoisin
  • Function : Author
  • PersonId : 1111425
Stéphane Calvez
Guilhem Almuneau
Antoine Monmayrant

Abstract

Nous présentons une source structurable spectralement pour le contrôle du procédé d'oxydation latérale sélective, étape critique de la fabrication de VCSELs. Le choix automatisé des bandes spectrales, ainsi que la réponse rapide du système permettent d'envisager un suivi temps réel du procédé plus précis par rapport à un système d'imagerie sous illumination monochromatique déjà implémenté.
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SourceStructureeSpectralement_LAAS-CNRS_Soumission.pdf (224.35 Ko) Télécharger le fichier
Origin : Files produced by the author(s)

Dates and versions

hal-03355384 , version 1 (27-09-2021)

Identifiers

  • HAL Id : hal-03355384 , version 1

Cite

Elizabeth Hemsley, Natan Monvoisin, Stéphane Calvez, Guilhem Almuneau, Antoine Monmayrant. Source structurée spectralement pour le suivi de procédés de microfabrication. Optique 2021, Jul 2021, Dijon, France. ⟨hal-03355384⟩
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