Poster Année : 2022

Journées RENATECH Dépôts

Equipements en 2022 de dépôts de matériaux dans la plateforme de micro et nano technologies du LAAS-CNRS

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hal-03940369 , version 1 (16-01-2023)

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  • HAL Id : hal-03940369 , version 1

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Pascal Dubreuil, Marrot Jean Christophe, Éric Imbernon, Ludovic Salvagnac, Guillaume Libaude, et al.. Equipements en 2022 de dépôts de matériaux dans la plateforme de micro et nano technologies du LAAS-CNRS. Journées RENATECH Dépôts, Oct 2022, RENNES, France. 2022. ⟨hal-03940369⟩
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