Jouvence et évolutions du bâti "TEGAL 915" - LAAS - Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes Accéder directement au contenu
Rapport De Contrat (Rapport Technique) Année : 2023

Jouvence et évolutions du bâti "TEGAL 915"

Résumé

Ce rapport technique détaille la jouvence d'un bâti de gravure plasma "TEGAL 915" utilisé dans la centrale de technologie du LAAS-CNRS.
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-04117265 , version 1 (05-06-2023)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04117265 , version 1

Citer

Corbin Thony, Brossa Vincent, Aurélie Lecestre. Jouvence et évolutions du bâti "TEGAL 915". LAAS-CNRS. 2023. ⟨hal-04117265⟩
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