Spectrally-shaped illumination for improved optical inspection of lateral III-V-semiconductor oxidation - LAAS - Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes
Poster Année : 2023

Spectrally-shaped illumination for improved optical inspection of lateral III-V-semiconductor oxidation

Natan Monvoisin
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1111425
  • IdRef : 276549325
Équipe Photonique
Elizabeth Hemsley
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1130436
Équipe Photonique
Lucas Laplanche
Équipe Photonique
Guilhem Almuneau
Équipe Photonique
Stéphane Calvez
Équipe Photonique
Antoine Monmayrant
Équipe Photonique

Résumé

We report the implementation of a spectrally-shaped source for an improved optical in-situ inspection of lateral III-V-semiconductor wet oxidation process that is critical in Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser (VCSEL) fabrication.

Domaines

Physique [physics] Sciences de l'ingénieur [physics]
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Monvoisin_ECLEO2023_poster_CH-P.16_S3_source_for_oxidation_inspection.pdf (2.76 Mo) Télécharger le fichier
Origine Fichiers produits par l'(les) auteur(s)

Stéphane Calvez  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://laas.hal.science/hal-04174833

Soumis le : mardi 1 août 2023-14:53:45

Dernière modification le : mercredi 17 janvier 2024-16:30:23

Archivage à long terme le : jeudi 2 novembre 2023-18:17:10

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Dates et versions

hal-04174833 , version 1 (01-08-2023)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04174833 , version 1

Citer

Natan Monvoisin, Elizabeth Hemsley, Lucas Laplanche, Guilhem Almuneau, Stéphane Calvez, et al.. Spectrally-shaped illumination for improved optical inspection of lateral III-V-semiconductor oxidation. Conference on Lasers and Electro-Optics Europe (CLEO/Europe EQEC 2023), Jun 2023, Munich, Germany. pp.CH-P.16, 2023. ⟨hal-04174833⟩

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