Etude de couches minces de titanate de barium déposées par pulvérisation
Abstract
Le titanate de barium (BaTiO3 ) est un matériau qui suscite beaucoup d'intérêt car ses propriétés électro-optique, piézo-électrique et même thermo-optique peuvent dépasser significativement celles du niobate de lithium (LiNbO3), le matériau phare de l'optique et de la photonique non-linéaire. Néanmoins, la valeur exacte de ces paramètres est intimement liée à la méthode d'élaboration du matériau (pulvérisation, dépôt par laser pulsé ou épitaxie à jets moléculaires) et à la cristallinité du matériau atteinte.
Cette contribution présente nos résultats récents portant sur le dépôt par pulvérisation de couches minces de BaTiO3 sur des substrats de silice fondue (SiO2), d'oxyde de magnésium (MgO) et de titanate de strontium (SrTiO3) et ainsi que leur post-traitement par recuit flash.
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