From MOS transistor to sensors and microsystems
Du transistor MOS aux capteurs et microsystèmes
Résumé
The research presented in this thesis is part of the general research conducted at the LAAS-CNRS by successive teams led by G.Blasquez, G.Sarrabayrouse, A.M.Gué, and which the title perfectly sums up. Thus, after a brief presentation of the approach used to generate, understand and identify the mechanisms of 1 / f noise generation in MOS devices, a work on developing MOS dosimeters has ensured a kind of continuity between research And industrial applications. An important part of this synthesis is devoted to a particular family of so-called 'membrane' sensors, in this case sensors for measuring biofilms and pressure. A kind of technological continuity links the two subjects treated, and the results obtained in terms of modeling and realization make them indispensable tools in any integration approach of microsystems. The third part is devoted to research on microfluidics and its applications in fields as varied as those of biology, telecommunications, water analysis or the vertical integration of Integrated Circuits
Les travaux de recherches présentés dans ce mémoire s'inscrivent dans le cadre général des recherches menées au LAAS-CNRS par les équipes successives animées par G.Blasquez, G.Sarrabayrouse, A.M.Gué, et que le titre résume parfaitement. Ainsi après une courte présentation de l’approche utilisée pour susciter, comprendre et identifier les mécanismes de génération du bruit en 1/f dans les dispositifs MOS, un travail de développement de dosimètres à MOS a permis d’assurer une sorte de continuité entre recherche et applications industrielles. Une partie importante de cette synthèse est consacrée à une famille particulière de capteurs, dits ‘à membrane’, en l’occurrence capteurs de mesure de biofilms et de pression. Une sorte de continuité technologique relie les deux sujets traités, et les résultats obtenus en termes de modélisation et de réalisation en font des outils indispensables dans toute approche d’intégration des microsystèmes. La troisième partie est consacrée à des travaux de recherche autour de la microfluidique et de ses applications dans des domaines aussi variés que ceux de la biologie, des télécommunications, de l’analyse de l’eau ou encore de l’intégration verticale de Circuits Intégrés.
Loading...