Les nanohélices sont des nanostructures hélicoïdales flexibles, avec un excellent rapport surface sur volume. Ces travaux étudient l’intégration dans des NEMS (nanosystèmes électromécaniques) de nanohélices de silice fabriquées par auto-assemblage en solution suivi d’un dépôt sol-gel. Elles ont été alignées par assemblage capillaire sur des substrats microstructurés par des tranchées et des électrodes, respectivement pour des caractérisations mécaniques et électriques. Elles ont ensuite été rendues conductrices par un dépôt FIB (Focused ion beam), qui a permis de les métalliser et de les fixer en une seule étape sans lithographie. Des mesures mécaniques par AFM(Microscopie à Force Atomique) ont caractérisé leurs larges souplesse (0,1 N/m) et domaine linéaire. Ces propriétés, contrôlables par leur longueur et leur métallisation, ont été corroborées par des simulations en éléments finis. Des mesures électriques par Microscope à Effet Tunnel-4 pointes ont mis en évidence un comportement ohmique et suggèrent un phénomène de piezorésistance métallique. Enfin, un résonateur à base de nanohélice unique a été conçu et fabriqué, afin d’étudier les propriétés dynamiques des nanohélices. Par la suite, l’intégration sur des substrats souples afin de réaliser des jauges de contrainte pour la biologie est envisagée.